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使用纳米压痕仪要满足哪些要求

     纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试,测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出,无需通过显微镜观察压痕面积。
  划痕法通过使用不同的传感器(声发射、划痕位移、摩擦力)和视频显微镜观察获得临界载荷数据来量化不同的膜-基材组合的结合性能。主要研究材料的磨损或去除机制,广泛应用于薄膜或涂层结合强度的测试。影响纳米划痕过程的主要因素包括压头类型、划痕速度、划痕深度和材料特性等。
使用纳米压痕仪要满足哪些要求:
  1.样品要求:上下表面平行抛光,直径不超过30mm,高度不超过20mm,如果高度超过10mm,直径需保证是30mm左右,如果直径小于10mm,那么高度建议5mm以下,利于样品测试过程中的稳固;如果是镶的样品,加工成直径31.5mm,要不然容易打偏;
  2.特别注意:试样厚度至少大于压入深度h的10倍以上,压入深度h至少是粗糙度Ra的20倍;压入深度小于100nm数据可靠度不高;压入深度一般2-3微米,深度再大没有太大意义;对于表面比较粗糙的样品,测试结果比较离散,建议测试点数不低于10个;样品表面平整,不得有油污、颗粒物等污染物;提供样品的泊松比。

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