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介绍纳米压痕仪的几个使用特点

  纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量,可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩绘釉漆,光学薄膜,微电子镀膜,保护性薄膜,装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料,包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。
  (1)试样制备简单。纳米压痕仪测试一般对试样表面粗糙度有特殊要求,对被测试样的形状尺寸并无特殊要求,压入深度在微纳米尺度,是一种无损测试方法。
  (2)测量分辨力高。吉大纳米压痕仪位移分辨率达到0.05nm,力学分辨率100nN。瑞士的设备力学分辨率0.5nN,位移分辨率0.05nm。
  (3)操作方便。利用载荷-深度曲线,可直接换算得到接触面积,无需对残余压痕面积进行测定。
  (4)测试内容丰富。利用纳米压痕仪测试不仅可以获得硬度、弹性模量,还可以获得塑性参数、断裂参数、黏弹参数等。
  (5)纳米压痕仪应用范围广。可广泛应用于金属、陶瓷、薄膜材料、复合材料、生物材料、特殊功能材料、微机电系统中微构件等众多材料和结构的力学测试。
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